Masontsivana ara-teknika:
| zavatra | fikirana |
| Elanelana fitsapana | 0.01~6500(cc/㎡.24 ora) |
| Tahan'ny famaha | 0.001 |
| Velaran-tany azo idirana | 50 c㎡(ny hafa dia tokony hamboarina manokana) |
| Fandrefesana ny savaivon'ny mikrônokleary | 108*108mm |
| Hatevin'ny santionany | <3 mm (mila ampiana kojakoja matevina kokoa) |
| Isany santionany | 1 |
| Fomba fitsapana | Sensor mahaleo tena |
| Elanelana mari-pana | 15℃ ~ 55℃ (vidina misaraka ny fitaovana fanaraha-maso ny mari-pana) |
| Fahamarinan'ny fanaraha-maso ny mari-pana | ±0.1℃ |
| Gazy mpitondra entana | Azota madio avo lenta 99.999% (mpampiasa loharanon-drivotra) |
| Fikorianan'ny entona mpitondra entana | 0~100 mL/minitra |
| Tsindrin'ny loharanon'ny rivotra | ≥0.2MPa |
| Haben'ny interface | Fantsona metaly 1/8 santimetatra |
| lafiny | 740mm (L)×415 mm (W)×430mm (H) |
| Zintin'aratra | AC 220V 50Hz |
| Lanja afa-karatsaka | 50Kg |